洁净室检测不得不了解知识
凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前,必须对系统、洁净室、机房等处进行全面清扫;在清扫和系统调整后,必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。 (一)洁净室测定的程序大致如下:1、风机空吹2、室内清扫3、调整风量4、安中效过滤器5、安高效过滤器6、系统运行7、高效过滤…
凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前,必须对系统、洁净室、机房等处进行全面清扫;在清扫和系统调整后,必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。 (一)洁净室测定的程序大致如下:1、风机空吹2、室内清扫3、调整风量4、安中效过滤器5、安高效过滤器6、系统运行7、高效过滤…
气态分子污染物(AMC)已经成为影响半导体产品质量的重要因素,主要表现为表面分子污染,这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜,化学膜通常改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性而导致质量缺陷,造成产品良品率下降。AMC种类复杂,根据SEMI发布的标准中将AMC分为四类:1.酸性分子污染物:如HF、SO2、CL2等…
在超净半导体环境中,污染物的监测至关重要,因为即使微小的污染物也可能对半导体生产过程造成严重影响。以下是一些高效监测超净半导体环境污染物的方法: 高精度传感器技术:利用高精度传感器技术可以实时监测空气中的各种污染物浓度,如微粒、气体、挥发性有机化合物等。这些传感器能够提供准确的数据,帮助及时发…
洁净室气流组织的主要任务,是供给足量的清洁空气,稀释并替换室内所产生的污染物质,使室内洁净度保持在允许范围之内。 洁净室气流组织设计应遵循以下一般原则: 1)要求送入洁净室的洁净气流扩散速度快、气流分布均匀,尽快稀释室内含有污染源所散发的污染物质的空气,维持生产环境所要求的洁净度。 2)使散发…
洁净室的压差就是洁净室与周围空间所必须维持的静压差。洁净室与邻室维持正的静压差(简称正压)是较为常见的情况,实际工程中的工业洁净室和一般生物洁净室都是维持正压。 但对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生产致敏性药物、高活性药物的生物洁净室以及其他有特殊要求的洁净室需要…
洁净室新风量对于补充排风系统所需、保证室内空气质量、维护作业人员健康、确保生产安全等方面具有不可替代的作用。 洁净室新风量计算 满足卫生标准的新风量 满足卫生标准的新风量分两种情况: 1)对于室内无明显有害气体发生的一般情况,根据GB50073-2013《洁净厂房设计规范》规定,保证供给洁净室内的新…